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机译:悬臂梁静电mEms执行器超出拉入范围
Subrahmanyam Gorthi; Atanu Mohanty; Anindya Chatterjee;
机译:悬臂梁静电MEMS执行器超越了引入
机译:静电致动悬臂梁吸合电压的封闭形式模型以及悬臂和微夹爪的比较分析
机译:通过调节静电悬臂梁和固定梁的间隙形状来降低吸合电压
机译:用于确定静电致动MEMS悬臂梁的引入电压的分析模型
机译:静电驱动的悬臂梁的二次共振
机译:估算MEMS悬臂的电压值和拉入极限位置的新分析模型
机译:静电驱动悬臂梁拉伸电压的封闭式模型及悬臂和微臂的比较分析
机译:具有非接触致动方案的静电多态悬臂致动器和制造静电多态悬臂致动器的方法
机译:提取静电激活的MEMS器件的引入参数以设计器件的有效方法
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